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11月24日，國(guó)儀量子召開電子顯微鏡新品發(fā)布會(huì)，基于我國(guó)制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)的長(zhǎng)期發(fā)展戰(zhàn)略，推出了世界上首臺(tái)分辨率達(dá)到2.5納米的鎢燈絲掃描電子顯微鏡，突破了這一技術(shù)長(zhǎng)期以來(lái)的技術(shù)瓶頸。

國(guó)儀量子董事長(zhǎng)賀羽致辭

國(guó)儀量子副總裁曹峰介紹新產(chǎn)品

電子顯微鏡利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測(cè)樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)，如形貌、成份、結(jié)構(gòu)等信息，是材料研究、質(zhì)量控制與失效分析等領(lǐng)域應(yīng)用的強(qiáng)大工具。作為一種應(yīng)用廣泛的高端科學(xué)儀器，我國(guó)掃描電鏡長(zhǎng)期以來(lái)被進(jìn)口品牌壟斷，國(guó)產(chǎn)掃描電鏡在技術(shù)與產(chǎn)品性能上與國(guó)外品牌存在差距。但隨著我國(guó)科技創(chuàng)新能力不斷提升，制造業(yè)的轉(zhuǎn)型升級(jí)，催生了以國(guó)儀量子為代表的一批研發(fā)實(shí)力強(qiáng)勁的科技創(chuàng)新企業(yè)。

國(guó)儀量子鎢燈絲掃描電子顯微鏡SEM3300

鎢燈絲掃描電鏡具有性價(jià)比高、易于維護(hù)、操作相對(duì)簡(jiǎn)單以及對(duì)場(chǎng)地要求較小等特點(diǎn)，便于大眾使用。但長(zhǎng)期以來(lái)，鎢燈絲掃描電鏡的分辨率都停滯不前，難以實(shí)現(xiàn)用戶對(duì)更高分辨率的追求。國(guó)儀量子電子顯微鏡技術(shù)團(tuán)隊(duì)針對(duì)這一技術(shù)瓶頸開展了科研攻關(guān)，通過(guò)分析限制鎢燈絲掃描電鏡分辨率的主要因素，開創(chuàng)了在鏡筒內(nèi)增加一根從陽(yáng)極直達(dá)物鏡極靴的10 kV高壓管(高壓隧道技術(shù))的解決方案，并實(shí)現(xiàn)了在所有電壓段的分辨率均大幅度超越普通鎢燈絲電鏡。SEM3300在20 kV分辨率達(dá)到2.5 nm，比普通鎢燈絲電鏡提高了16%，成為了目前世界上分辨率最高的鎢燈絲掃描電鏡；同時(shí)，作為鎢燈絲電鏡“王者”，SEM3300在任意電壓下都表現(xiàn)出卓爾不群的分辨力——在3kV分辨率達(dá)到4nm，相比普通鎢燈絲電鏡提高了2倍；在1kV分辨率達(dá)到5nm，相比普通鎢燈絲電鏡提高了3倍——滿足更多材料的分析測(cè)試需求。

同時(shí)，國(guó)儀量子還推出了鎢燈絲掃描電鏡SEM2000和場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SEM4000。鎢燈絲掃描電鏡SEM2000是一款操作不挑人，簡(jiǎn)約不簡(jiǎn)單的產(chǎn)品，以“人人都敢用，人人都能用”為目標(biāo)打造。場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SEM4000是一款針對(duì)分析型用戶需求的全新產(chǎn)品，具有電子束流大、分析速度快的特點(diǎn)、最大超過(guò)200 nA的電子束流，且束流大小連續(xù)可調(diào)，有利于選擇最合適的成像和能譜條件。

當(dāng)下，全球都在強(qiáng)調(diào)制造業(yè)的重要性，我國(guó)更是將制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)作為長(zhǎng)期的發(fā)展戰(zhàn)略。在這個(gè)進(jìn)程中，掃描電鏡作為一種強(qiáng)大的分析儀器，在提升制造業(yè)產(chǎn)品創(chuàng)新能力與產(chǎn)品質(zhì)量上將大有作為。自2019年推出首臺(tái)掃描電子顯微鏡以來(lái)，國(guó)儀量子務(wù)實(shí)篤行，不斷精研行業(yè)痛點(diǎn)，深耕核心技術(shù)，以優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)，幫助客戶更高效地探索未知的邊界。

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